超聲波掃描顯微鏡對被測器件是有一定限制的,因為它的工作頻率一般在5MHz~400MHz之間,安賽斯(中國)有限公司引進(jìn)德國的超聲波掃描顯微鏡,其工作頻率可達550M。所以它在不同材料中,穿透深度是不同。一般有這樣的規律:頻率越高的超聲波,穿透性越差,但是分辨率高;頻率低的超聲波,穿透性好,但是分辨率有限! 穿透深度(與材料本身有關(guān)*): 穿透深度取決于被測物的彈性參數、信噪比及超聲掃描顯微鏡系統的工作頻率。被測物與耦合介質(zhì)之間較大的聲失配會(huì )降低穿透深度,但另一方面,高信噪比可以提 高穿透深度。在高聲阻抗的固體中超聲波的穿透深度與超聲波的頻率成反比。對于低聲阻抗的固體,橫波和縱波均可以用于內部成像,因此在這種情況下穿透深度不 受頻率的限制。 分辨率:取決于樣品和換能器的狀況,一般情況下可達到半波長(cháng)(λ/2)。 頻率(MHz) | 穿透深度*(mm) | 理論分辨率(μm) | 焦距(mm) | 5 | 15,0 | 300 | 19 | 10 | 10,0 | 150 | 15 | 15 | 5,1 | 100 | 19 | 20 | 4,1 | 75 | 15 | 25 | 4,1 | 60 | 15 | 30 | 3,4 | 50 | 12 | 40 | 5,4 | 38 | 20 | 75 | 3,4 | 20 | 12 | 80 | 2,2 | 19 | 8 | 100 | 0,4 | 15 | 1 | 110 | 2,2 | 14 | 8 | 120 | 2,2 | 12 | 8 |
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